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超穩(wěn)定緊湊型光學(xué)差分激光干涉儀專為必須長時(shí)間執(zhí)行高度穩(wěn)定的長度測(cè)量的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。緊湊的傳感器設(shè)計(jì)即使在狹窄的空間內(nèi)也能實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定的調(diào)整和放置，因此精密測(cè)量系統(tǒng)非常適合用作閉環(huán)控制回路的激光尺。
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